光刻机与光刻胶的关系,业内人都懂,那是严丝合缝的对应。
光线投射在涂有光刻胶的硅晶圆上,借由光学化学反应,把电路图“印”上去,芯片就这么造出来了。光源类型决定了必须匹配相应的光刻胶,两者绝不能混用。光刻胶的品质好坏,直接挂钩芯片的最终良率。
正因如此,光刻胶按制程细分为G线、I线、KrF、ArF、ArFi以及EUV等,分类逻辑与光刻机如出一辙。应用层面也是一一对应,跨品类使用根本行不通。
放眼全球,日本企业在光刻胶领域一家独大,吃掉了80%的市场份额。制程越高端,日企的掌控力越强。尤其是EUV光刻胶,目前仅有日本具备生产能力。
相比之下,中国光刻胶的自给率长期低迷。预计到2025年,整体国产化率也就在28%左右徘徊。而且呈现明显的倒金字塔结构:越是尖端技术,国产比例越低。
具体来看,最低端的G线和I线国产化率尚能维持在65%,但到了高端浸润式ArFi领域,这一数字已跌破3%,而EUV光刻胶的国产化率则是彻底的0。
即便28%的国产化率看似让国内企业掌握了部分ArF光刻胶的生产能力,但需看清现实:生产线上的核心设备与关键原料仍大量依赖进口。这并非真正的独立自主,只是组装层面的突破。
业界期盼已久的,是全流程100%自主可控。从基础原料到生产设备,全部实现国产化,才能彻底掐断“卡脖子”的风险。
如今,这个愿望终于有了着落。有一家企业打通了“有机合成—高分子合成—精制纯化—光刻胶混配”的全链条,实现了自主制备。
这家企业便是鼎龙股份。近日其正式官宣这一里程碑成果,宣称这是国内首条全流程自主的高端光刻胶产线。从源头原料到制造设备,再到生产制备,全环节可控,彻底斩断了上游依赖进口的隐患。
目前,该产线年产能高达330吨,产品纯度达到99.999%。作为国内单体规模最大的高端光刻胶产线,它足以满足3至5条12英寸晶圆产线一整年的需求。
这条产线可制造KrF和ArF高端光刻胶,技术覆盖范围从90nm延伸至28nm制程节点。未来,其工艺覆盖能力有望进一步下探至14nm等更先进层级。
得知此消息,日本企业恐怕是最为焦虑的。长期以来,他们凭借垄断地位在全球挥舞制裁大棒,甚至曾扬言通过断供光刻胶来施压中国。
但随着中国企业实现自主可控并取得实质性突破,依托中国制造的成本优势与产能潜力,未来中国光刻胶必将以高性能、低价格席卷更多全球市场。届时,面对失去垄断红利的局面,日本企业该如何应对?









